为贯彻落实《关于加快“大零号湾”科技创新策源功能区建设的若干政策措施》《“大零号湾”科技创新策源功能区发展专项资金使用和管理办法》文件精神，强化企业科技创新主体地位，持续激发区域科技创新发展活力，加快塑造“大零号湾”新动能新优势，上海市闵行区科学技术委员会特发布2026年度市级“大零号湾”专项政策关键核心技术攻关“揭榜挂帅”榜单。有关事宜通知如下：
一、组织方式
项目组织按照“揭榜挂帅”方式实施，由区科委向社会发榜公布，征集揭榜方，并对揭榜项目组织评审。择优确定揭榜团队。
二、揭榜条件
（一）本批“揭榜挂帅”需求榜单（详见附件1），面向全国高校、科研院所、企业，对揭榜方不设行业门槛限制，应遵守中国知识产权法律、法规、规章、具有约束力的规范性文件及在中国适用的与知识产权有关的国际公约，所申报项目的知识产权明晰，归属或技术来源正当合法，不存在知识产权失信违法行为，且具有项目实施的基础条件和保障能力。
（二）揭榜单位和科研团队应遵守科研诚信管理要求，需承诺所提交材料真实性，揭榜单位应当对申请人的申请资格负责，并对申请材料的真实性和完整性进行审核，不得提交有涉密内容的申请材料。
三、揭榜流程
（一）本次榜单张榜公告时间为2026年10月8日（周四）至10月30日（周五）。
（二）揭榜单位填写《“大零号湾”专项政策“揭榜挂帅”项目申报书》（附件2），书面材料打印并加盖公章后，送至闵行区剑川路940号F幢419室，电子版申报材料及汇报PPT同步发送邮件至[email protected]。书面材料采用A4纸双面打印，一式八份，须签字盖章齐全，使用普通纸质材料作封面，不采用胶圈、文件夹等带有突出棱边的装订方式。电子版材料需确保与书面材料内容一致。材料受理日期为2026年10月29日至11月6日（早9点至晚16点）。
（三）本批“揭榜挂帅”项目由第三方专业机构后续开展受理、评审等工作，通过会议评审方式对揭榜项目进行择优遴选。评审事宜，另行通知。
附件：1
2026 年度大零号湾专项政策关键核心技术攻关“揭榜挂帅”榜单
一、面向半导体炉管式原子层沉积设备的高端比例阀关键技术攻
关
（一）研究目标
面向半导体炉管式原子层沉积设备高精度、高稳定性、高耐
蚀性真空流量控制需求，研究比例阀高速动态响应控制算法、温
度自适应热补偿结构、耐特种腐蚀阀体材料等关键技术，研制适
配半导体高温、高洁净、强腐蚀工艺环境的高端精密比例阀产品，
具备全量程精准流量压力调控、快速动态响应、高重复定位精度
等功能，实现炉管沉积设备关键真空控制零部件国产化。
（二）技术指标
1）加热器温控与电气耐压性能：
a）温度控制精度：外部加热器、环形加热器温控精度±10℃；
b）电气耐压性能：加热器系统可承受交流 500V、60Hz 耐压
测试，持续60 秒无击穿、无闪络、无异常发热；
c）升温能力：设备可在 3 小时内完成从室温至 190℃稳定升
温，并保持恒温可控。
2）比例阀动作与控制性能：
a）阀门全开关动作总时间≤2.00 秒；
b）阀芯初始零位偏移：阀门全闭合状态下，阀芯初始机械零
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位偏移控制在1.0mm~1.5mm；
c）自动找零定位精度：系统自动找零偏差≤0.2mm；
d）单真空规闭环控压稳定时间≤25 秒；
e）多档位行程定位性能：执行机构可精准定位 1mm、2.8mm、
5.6mm、8.4mm、11.2mm、14mm、16.8mm、19.6mm、22.4mm、
25.2mm、28mm 多级设定行程位置，各位置重复定位偏差≤±
0.1mm；
f）系统慢抽真空稳定时间≤127 秒。
3）结构尺寸参数：
a）设备端口规格：NW80，设备双侧各配置两路端口；
b）节流孔通径：Φ80mm；
c）阀门机械全行程：32mm；
d）有效可控调节行程：28mm。
4）泄漏性能指标：
a）整机极限漏率：室温条件下，阀门真空泄漏率≤1.3×10-
9Pa·m3/s；
b）静态升压泄漏：内部真空静态升压速率≤10Torr/10min。
5）工作频次与绝缘性能：
a）设备允许最大工作频次：≤10 次/ min；
b）主阀绝缘电阻：500V DC 测试条件下，绝缘电阻≥10MΩ。
6）控制精度与动态响应：
a）全量程控制精度：±1%F.S.；
b）阀门动态响应时间：控制器下发指令至阀体开始动作的响
应时间≤10 ms。
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（三）交付物
1）比例阀工程样件 5 套、装机测试验证件 2 套；
2）产品规格书、生产工艺文件（SOP）、零备件清单、内部测
试报告、设计文档各1 份；
3）符合上述技术指标要求的有资质第三方检测报告；
4）申请发明专利 1 项，授权实用新型专利 2 项，知识产权归
需求方与揭榜方共同所有。
（四）完成时间：不晚于2028 年 6 月。
（五）项目总投入：不超过500 万元。
二、面向应急救援的国产化多模态智能仿真推演与决策评估平台
研制
（一）研究目标
面向灾情巡查、应急物资投送、人员搜救等应急救援场景需
求，研究多模态资料识别与语义解析、知识图谱与规则约束驱动
的场景生成等关键技术，研制适配国产操作系统和终端的多模态
智能仿真推演与决策评估平台，实现应急资料解析、参数推荐与
校验、场景配置生成、多方案推演评估和结果追溯等功能，提升
应急方案生成、评估与复盘效率，为应急资源调度和处置决策提
供技术支撑。
（二）技术指标
1）资料接入与管理能力：支持 PNG、JPG、BMP、PDF、CAD
图纸格式（如DWG、DXF）等不少于 5 类格式资料导入；支持单
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来源：上海科委
上海高新技术企业服务中心
政策服务部：方主任
电话-微信：15618903837
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